... необходим высокоточный контроль различных параметров плазмы, в том числе энергий ионов ... на плазменном слое и плотность плазмы, компьютерное моделирование движения ионов производится ... с использованием различных средств диагностики плазмы в нескольких газах: аргоне и ... ксеноне – в качестве примеров плазмы с атомарными ионами, и азота ... – в качестве примера плазмы с молекулярными ионами. Во всех ... датчика распределения энергии ионов в плазме высокочастотных разрядов, и важны для ...